半導体明視野およびグレーフィールド欠陥検査装置の調査レポート2026：市場成長率、規模、主要企業比較
公開 2026/02/26 17:21
最終更新
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2026年2月26日に、YH Research株式会社（本社：東京都中央区）が発行した「グローバル半導体明視野およびグレーフィールド欠陥検査装置のトップ会社の市場シェアおよびランキング 2026」によると、本調査レポートでは、半導体明視野およびグレーフィールド欠陥検査装置市場の現状、定義、分類、用途、産業チェーン構造を総合的に分析し、開発方針、製造プロセス、コスト構造についても詳細に説明します。半導体明視野およびグレーフィールド欠陥検査装置市場の成長動向と今後の市場予測に加え、技術革新や市場競争環境、消費者行動の変化など市場に影響を与える重要な要因を考察します。また、主要生産地域、消費地域、及び主要企業の生産・消費の観点から、市場動向を深く理解し、企業が新規市場の開拓や競争力強化に向けた戦略を立てるための有益な情報を提供します。
◇レポートの詳細内容・無料サンプルお申込み
https://www.yhresearch.co.jp/reports/1382886/semiconductor-brightfield-and-greyfield-defect-inspection-equipment
１．半導体明視野およびグレーフィールド欠陥検査装置とは
YH Researchによるとのグローバル半導体明視野およびグレーフィールド欠陥検査装置の市場は2025年の4228百万米ドルから2032年には7704百万米ドルに成長し、2026年から2032年の間にCAGRは9.0%になると予測されている。
半導体明視野およびグレーフィールド欠陥検査装置の定義と市場的位置付け
半導体明視野およびグレーフィールド欠陥検査装置は、ウェーハ製造工程において微細欠陥を非接触かつ高速に検出・分類するための光学検査装置である。明視野（Brightfield）検査は主にパターン欠陥や粒子付着など反射差異を利用した検出に適し、露光・エッチング・成膜後の品質評価に広く使用される。一方、グレーフィールド（Grayfield）検査は回折散乱光や角度依存反射を活用し、微細パターン変形やラインエッジ粗さなど従来検出が困難であったナノスケール異常の可視化を可能にする。先端ロジック半導体や高密度メモリ、先進パッケージング工程において歩留まり管理の中核設備として位置付けられ、EUV露光世代以降の微細化進展に伴い不可欠なプロセス制御インフラとして市場的重要性が急速に高まっている。
微細化進展と検査工程高度化がもたらす需要拡大
半導体製造では設計ルールの微細化が進むにつれ、ナノメートルレベルの欠陥検出能力が歩留まりを左右する重要な要素となっている。特にロジック半導体および先端メモリでは工程数の増加に伴い検査頻度が上昇しており、高速スループットと高感度検出を両立する検査装置への投資が拡大している。
グローバル市場ではプロセスコントロール分野で強固な技術基盤を持つKLA Corporationが明視野検査領域を中心に高い存在感を示している。また、日本市場では電子顕微鏡および光学計測技術を強みとするHitachi High-Tech Corporationが前工程検査分野で重要な役割を担う。
装置統合力を背景に工程全体最適化を進めるApplied Materials, Inc.も検査技術の高度化を推進しており、歩留まり改善と生産効率向上を両立する統合ソリューションへの関心が高まっている。
光学設計革新とAI解析統合による技術進展
先端ノードでは従来のコントラスト検出だけでは識別困難な欠陥が増加しており、複数波長光源や高NA光学系、散乱光解析の高度化が進んでいる。グレーフィールド検査はこうした課題への対応として導入が進み、パターン形状変化の早期検出を可能にしている。
検査アルゴリズム領域ではAI画像解析の導入が進み、膨大な検査データから真性欠陥を抽出する能力が重要視されている。光学計測および検査統合分野ではOnto Innovation Inc.がプロセスモニタリング技術を強化しているほか、新興企業としてNEXTIN, Inc.やTASMIT, Inc.が独自光学技術による差別化を図っている。
さらにナノ計測技術分野ではNanoSystem Solutions, Inc.が原子レベル評価技術の応用を進めており、研究開発用途から量産工程への応用拡大が注目されている。
地域競争の多極化とサプライチェーンの変化
半導体供給網の再編を背景に、検査装置市場では地域分散型投資が進んでいる。中国市場ではローカル装置メーカーの育成政策を背景に、Shenzhen Nanolighting Technology Co., Ltd.などが光学検査領域への参入を進めている。
欧州では三次元表面計測技術を強みとするFRT GmbHが研究用途から量産評価まで応用範囲を拡張しているほか、検査評価装置分野ではChroma ATE, Inc.が電子テスト技術との融合を進めている。
先端半導体投資の拡大、AIおよび高性能コンピューティング需要の増加、先進パッケージング工程の複雑化により、欠陥検査装置は単なる品質保証設備から製造プロセス最適化を担う戦略的インフラへと進化している。明視野とグレーフィールド技術の融合は微細欠陥の早期検出能力を高め、半導体産業における歩留まり管理と生産競争力を左右する重要な投資領域として市場の関心を集め続けている。
２．半導体明視野およびグレーフィールド欠陥検査装置市場区分
レポートは会社別、製品別、用途別、地域別の4つのセクションに分かれている。
会社別分析：KLA Corporation、 Hitachi High-Tech Corporation、 Applied Materials, Inc.、 Onto Innovation Inc.、 Shenzhen Nanolighting Technology Co., Ltd.、 TASMIT, Inc.、 NEXTIN, Inc.、 NanoSystem Solutions, Inc.、 FRT GmbH、 Chroma ATE, Inc.
会社別では、市場シェアやランキング、売上高、販売量について分析しています。また、企業情報や販売地域、市場地位についても詳細に調査し、最近の企業の開発状況を紹介しています。
製品別分析：Brightfield and Greyfield Defect Inspection Equipment、 Brightfield Defect Inspection Equipment、 Greyfield Defect Inspection Equipment
製品別では、売上、販売量、平均販売価格を分析します。
用途別分析：Patterned Wafer Defect Inspection、 Un-patterned Wafer
用途別では、売上、販売量、価格に基づいた詳細な分析を行います。
地域別分析
地域別では、各地域の市場規模、売上、販売量、市場シェアなどの予測を提供しています。
以下の地域に焦点を当てています：
北米：米国、カナダ、メキシコ
ヨーロッパ：ドイツ、フランス、イギリス、ロシア、イタリア、その他のヨーロッパ地域
アジア太平洋地域：中国、日本、韓国、インド、東南アジア、オーストラリア、その他のアジア太平洋地域
南米：ブラジル、その他の南米地域
中東とアフリカ
３．本レポートの主な利点
本レポートが提供するメリットは以下の通りです：
１.市場規模と予測データ：世界の半導体明視野およびグレーフィールド欠陥検査装置市場に関する過去データ（2021～2025年）および将来予測データ（2026～2032年）を提供し、市場の成長と規模を明確に示します。
２.会社別の売上と市場シェア：世界の半導体明視野およびグレーフィールド欠陥検査装置会社別の売上、価格、市場シェア、業界ランキングを提供します。（2021～2026）
３.日本市場の会社別データ：日本の半導体明視野およびグレーフィールド欠陥検査装置市場における主要企業の売上、価格、市場シェア、業界ランキングに関するデータを提供します。（2021～2026）
４.主要消費地域のデータ：世界の半導体明視野およびグレーフィールド欠陥検査装置市場における主要な消費地域、消費量、売上、および需要構造に関する情報を提供します。
５.主要生産地域のデータ：世界の半導体明視野およびグレーフィールド欠陥検査装置市場における主要な生産地域、生産能力、生産量、前年比成長率に関する情報を提供します。
６.産業チェーンの分析：半導体明視野およびグレーフィールド欠陥検査装置産業チェーン（川上産業、川中産業、川下産業）を分析し、市場内での位置づけと相互関係を明らかにします。
本レポートを通じて、世界の半導体明視野およびグレーフィールド欠陥検査装置市場に関する包括的な情報を提供し、市場参加者に戦略的意思決定に役立つ情報を提供します。
【総目録】
第1章：半導体明視野およびグレーフィールド欠陥検査装置の製品範囲、グローバルの販売量、売上、平均価格および日本の販売量、売上、平均価格、発展機会、課題、動向、政策について説明する。
第2章：世界半導体明視野およびグレーフィールド欠陥検査装置の主要会社の市場シェアとランキング、販売量、売上、平均価格（2021～2026）
第3章：日本半導体明視野およびグレーフィールド欠陥検査装置の主要会社の市場シェアとランキング、販売量、売上、平均価格（2021～2026）
第4章：半導体明視野およびグレーフィールド欠陥検査装置の世界の主要生産地域、パーセントとCAGR（2021～2032）
第5章：半導体明視野およびグレーフィールド欠陥検査装置産業チェーン、川上産業、川中産業、川下産業
第6章：製品別の販売量、平均価格、売上、パーセントとCAGR（2021～2032）
第7章：アプリケーション別の販売量、平均価格、売上、パーセントとCAGR（2021～2032）
第8章：地域別セグメントの販売量、平均価格、売上、パーセントとCAGR（2021～2032）
第9章：国別の販売量、平均価格、売上、パーセントとCAGR（2021～2032）
第10章：会社概要、製品仕様、アプリケーション、最近の発展状況、販売量、平均価格、売上、粗利益率などについて、市場における主要企業の基本状況を詳しく紹介する。
第11章：結論
1 市場概要
1.1 半導体明視野およびグレーフィールド欠陥検査装置の定義
1.2 グローバル半導体明視野およびグレーフィールド欠陥検査装置の市場規模と予測
1.2.1 売上別のグローバル半導体明視野およびグレーフィールド欠陥検査装置の市場規模（2021-2032）
1.2.2 販売量別のグローバル半導体明視野およびグレーフィールド欠陥検査装置の市場規模（2021-2032）
1.2.3 グローバル半導体明視野およびグレーフィールド欠陥検査装置の平均販売価格（ASP）（2021-2032）
1.3 日本半導体明視野およびグレーフィールド欠陥検査装置の市場規模と予測
1.3.1 売上別の日本半導体明視野およびグレーフィールド欠陥検査装置市場規模（2021-2032）
1.3.2 販売量別の日本半導体明視野およびグレーフィールド欠陥検査装置市場規模（2021-2032）
1.3.3 日本半導体明視野およびグレーフィールド欠陥検査装置の平均販売価格（ASP）（2021-2032）
1.4 世界における日本半導体明視野およびグレーフィールド欠陥検査装置の市場シェア
1.4.1 世界における売上別の日本半導体明視野およびグレーフィールド欠陥検査装置市場シェア（2021-2032）
1.4.2 世界における販売量別の日本半導体明視野およびグレーフィールド欠陥検査装置市場シェア（2021-2032）
1.4.3 半導体明視野およびグレーフィールド欠陥検査装置の市場規模、日本VS世界（2021-2032）
1.5 半導体明視野およびグレーフィールド欠陥検査装置市場ダイナミックス
1.5.1 半導体明視野およびグレーフィールド欠陥検査装置の市場ドライバ
1.5.2 半導体明視野およびグレーフィールド欠陥検査装置市場の制約
1.5.3 半導体明視野およびグレーフィールド欠陥検査装置業界動向
1.5.4 半導体明視野およびグレーフィールド欠陥検査装置産業政策
2 世界主要会社市場シェアとランキング
2.1 会社別の世界半導体明視野およびグレーフィールド欠陥検査装置売上の市場シェア（2021-2026）
2.2 会社別の世界半導体明視野およびグレーフィールド欠陥検査装置販売量の市場シェア（2021-2026）
2.3 会社別の半導体明視野およびグレーフィールド欠陥検査装置の平均販売価格（ASP）（2021-2026）
2.4 グローバル半導体明視野およびグレーフィールド欠陥検査装置のトップ会社、マーケットポジション（ティア1、ティア2、ティア3）
2.5 グローバル半導体明視野およびグレーフィールド欠陥検査装置の市場集中度
2.6 グローバル半導体明視野およびグレーフィールド欠陥検査装置の合併と買収、拡張計画
2.7 主要会社の半導体明視野およびグレーフィールド欠陥検査装置製品タイプ
2.8 主要会社の本社と生産拠点
2.9 主要会社の生産能力の推移と今後の計画
……（詳細については、YH Researchまでお問い合わせください。）
会社概要
YH Research（YHリサーチ）は、グローバルビジネスをサポートする市場調査と情報提供の企業です。業界調査レポート、カスタムレポート、IPOアドバイザリーサービス、ビジネスプラン作成など、企業の成長と発展を支援するサービスを提供しています。 世界5カ国にオフィスを構え、100カ国以上の企業に正確で有益なデータを提供し、業界動向や競合分析、消費者行動分析などを通じて、企業が市場の変化に迅速に対応できるようサポートしています。
【本件に関するお問い合わせ先】
YH Research株式会社
URL：https://www.yhresearch.co.jp
住所：東京都中央区勝どき五丁目12番4-1203号
TEL：050-5840-2692（日本）；0081-5058402692（グローバル）
マーケティング担当：info@yhresearch.com
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１．半導体明視野およびグレーフィールド欠陥検査装置とは
YH Researchによるとのグローバル半導体明視野およびグレーフィールド欠陥検査装置の市場は2025年の4228百万米ドルから2032年には7704百万米ドルに成長し、2026年から2032年の間にCAGRは9.0%になると予測されている。
半導体明視野およびグレーフィールド欠陥検査装置の定義と市場的位置付け
半導体明視野およびグレーフィールド欠陥検査装置は、ウェーハ製造工程において微細欠陥を非接触かつ高速に検出・分類するための光学検査装置である。明視野（Brightfield）検査は主にパターン欠陥や粒子付着など反射差異を利用した検出に適し、露光・エッチング・成膜後の品質評価に広く使用される。一方、グレーフィールド（Grayfield）検査は回折散乱光や角度依存反射を活用し、微細パターン変形やラインエッジ粗さなど従来検出が困難であったナノスケール異常の可視化を可能にする。先端ロジック半導体や高密度メモリ、先進パッケージング工程において歩留まり管理の中核設備として位置付けられ、EUV露光世代以降の微細化進展に伴い不可欠なプロセス制御インフラとして市場的重要性が急速に高まっている。
微細化進展と検査工程高度化がもたらす需要拡大
半導体製造では設計ルールの微細化が進むにつれ、ナノメートルレベルの欠陥検出能力が歩留まりを左右する重要な要素となっている。特にロジック半導体および先端メモリでは工程数の増加に伴い検査頻度が上昇しており、高速スループットと高感度検出を両立する検査装置への投資が拡大している。
グローバル市場ではプロセスコントロール分野で強固な技術基盤を持つKLA Corporationが明視野検査領域を中心に高い存在感を示している。また、日本市場では電子顕微鏡および光学計測技術を強みとするHitachi High-Tech Corporationが前工程検査分野で重要な役割を担う。
装置統合力を背景に工程全体最適化を進めるApplied Materials, Inc.も検査技術の高度化を推進しており、歩留まり改善と生産効率向上を両立する統合ソリューションへの関心が高まっている。
光学設計革新とAI解析統合による技術進展
先端ノードでは従来のコントラスト検出だけでは識別困難な欠陥が増加しており、複数波長光源や高NA光学系、散乱光解析の高度化が進んでいる。グレーフィールド検査はこうした課題への対応として導入が進み、パターン形状変化の早期検出を可能にしている。
検査アルゴリズム領域ではAI画像解析の導入が進み、膨大な検査データから真性欠陥を抽出する能力が重要視されている。光学計測および検査統合分野ではOnto Innovation Inc.がプロセスモニタリング技術を強化しているほか、新興企業としてNEXTIN, Inc.やTASMIT, Inc.が独自光学技術による差別化を図っている。
さらにナノ計測技術分野ではNanoSystem Solutions, Inc.が原子レベル評価技術の応用を進めており、研究開発用途から量産工程への応用拡大が注目されている。
地域競争の多極化とサプライチェーンの変化
半導体供給網の再編を背景に、検査装置市場では地域分散型投資が進んでいる。中国市場ではローカル装置メーカーの育成政策を背景に、Shenzhen Nanolighting Technology Co., Ltd.などが光学検査領域への参入を進めている。
欧州では三次元表面計測技術を強みとするFRT GmbHが研究用途から量産評価まで応用範囲を拡張しているほか、検査評価装置分野ではChroma ATE, Inc.が電子テスト技術との融合を進めている。
先端半導体投資の拡大、AIおよび高性能コンピューティング需要の増加、先進パッケージング工程の複雑化により、欠陥検査装置は単なる品質保証設備から製造プロセス最適化を担う戦略的インフラへと進化している。明視野とグレーフィールド技術の融合は微細欠陥の早期検出能力を高め、半導体産業における歩留まり管理と生産競争力を左右する重要な投資領域として市場の関心を集め続けている。
２．半導体明視野およびグレーフィールド欠陥検査装置市場区分
レポートは会社別、製品別、用途別、地域別の4つのセクションに分かれている。
会社別分析：KLA Corporation、 Hitachi High-Tech Corporation、 Applied Materials, Inc.、 Onto Innovation Inc.、 Shenzhen Nanolighting Technology Co., Ltd.、 TASMIT, Inc.、 NEXTIN, Inc.、 NanoSystem Solutions, Inc.、 FRT GmbH、 Chroma ATE, Inc.
会社別では、市場シェアやランキング、売上高、販売量について分析しています。また、企業情報や販売地域、市場地位についても詳細に調査し、最近の企業の開発状況を紹介しています。
製品別分析：Brightfield and Greyfield Defect Inspection Equipment、 Brightfield Defect Inspection Equipment、 Greyfield Defect Inspection Equipment
製品別では、売上、販売量、平均販売価格を分析します。
用途別分析：Patterned Wafer Defect Inspection、 Un-patterned Wafer
用途別では、売上、販売量、価格に基づいた詳細な分析を行います。
地域別分析
地域別では、各地域の市場規模、売上、販売量、市場シェアなどの予測を提供しています。
以下の地域に焦点を当てています：
北米：米国、カナダ、メキシコ
ヨーロッパ：ドイツ、フランス、イギリス、ロシア、イタリア、その他のヨーロッパ地域
アジア太平洋地域：中国、日本、韓国、インド、東南アジア、オーストラリア、その他のアジア太平洋地域
南米：ブラジル、その他の南米地域
中東とアフリカ
３．本レポートの主な利点
本レポートが提供するメリットは以下の通りです：
１.市場規模と予測データ：世界の半導体明視野およびグレーフィールド欠陥検査装置市場に関する過去データ（2021～2025年）および将来予測データ（2026～2032年）を提供し、市場の成長と規模を明確に示します。
２.会社別の売上と市場シェア：世界の半導体明視野およびグレーフィールド欠陥検査装置会社別の売上、価格、市場シェア、業界ランキングを提供します。（2021～2026）
３.日本市場の会社別データ：日本の半導体明視野およびグレーフィールド欠陥検査装置市場における主要企業の売上、価格、市場シェア、業界ランキングに関するデータを提供します。（2021～2026）
４.主要消費地域のデータ：世界の半導体明視野およびグレーフィールド欠陥検査装置市場における主要な消費地域、消費量、売上、および需要構造に関する情報を提供します。
５.主要生産地域のデータ：世界の半導体明視野およびグレーフィールド欠陥検査装置市場における主要な生産地域、生産能力、生産量、前年比成長率に関する情報を提供します。
６.産業チェーンの分析：半導体明視野およびグレーフィールド欠陥検査装置産業チェーン（川上産業、川中産業、川下産業）を分析し、市場内での位置づけと相互関係を明らかにします。
本レポートを通じて、世界の半導体明視野およびグレーフィールド欠陥検査装置市場に関する包括的な情報を提供し、市場参加者に戦略的意思決定に役立つ情報を提供します。
【総目録】
第1章：半導体明視野およびグレーフィールド欠陥検査装置の製品範囲、グローバルの販売量、売上、平均価格および日本の販売量、売上、平均価格、発展機会、課題、動向、政策について説明する。
第2章：世界半導体明視野およびグレーフィールド欠陥検査装置の主要会社の市場シェアとランキング、販売量、売上、平均価格（2021～2026）
第3章：日本半導体明視野およびグレーフィールド欠陥検査装置の主要会社の市場シェアとランキング、販売量、売上、平均価格（2021～2026）
第4章：半導体明視野およびグレーフィールド欠陥検査装置の世界の主要生産地域、パーセントとCAGR（2021～2032）
第5章：半導体明視野およびグレーフィールド欠陥検査装置産業チェーン、川上産業、川中産業、川下産業
第6章：製品別の販売量、平均価格、売上、パーセントとCAGR（2021～2032）
第7章：アプリケーション別の販売量、平均価格、売上、パーセントとCAGR（2021～2032）
第8章：地域別セグメントの販売量、平均価格、売上、パーセントとCAGR（2021～2032）
第9章：国別の販売量、平均価格、売上、パーセントとCAGR（2021～2032）
第10章：会社概要、製品仕様、アプリケーション、最近の発展状況、販売量、平均価格、売上、粗利益率などについて、市場における主要企業の基本状況を詳しく紹介する。
第11章：結論
1 市場概要
1.1 半導体明視野およびグレーフィールド欠陥検査装置の定義
1.2 グローバル半導体明視野およびグレーフィールド欠陥検査装置の市場規模と予測
1.2.1 売上別のグローバル半導体明視野およびグレーフィールド欠陥検査装置の市場規模（2021-2032）
1.2.2 販売量別のグローバル半導体明視野およびグレーフィールド欠陥検査装置の市場規模（2021-2032）
1.2.3 グローバル半導体明視野およびグレーフィールド欠陥検査装置の平均販売価格（ASP）（2021-2032）
1.3 日本半導体明視野およびグレーフィールド欠陥検査装置の市場規模と予測
1.3.1 売上別の日本半導体明視野およびグレーフィールド欠陥検査装置市場規模（2021-2032）
1.3.2 販売量別の日本半導体明視野およびグレーフィールド欠陥検査装置市場規模（2021-2032）
1.3.3 日本半導体明視野およびグレーフィールド欠陥検査装置の平均販売価格（ASP）（2021-2032）
1.4 世界における日本半導体明視野およびグレーフィールド欠陥検査装置の市場シェア
1.4.1 世界における売上別の日本半導体明視野およびグレーフィールド欠陥検査装置市場シェア（2021-2032）
1.4.2 世界における販売量別の日本半導体明視野およびグレーフィールド欠陥検査装置市場シェア（2021-2032）
1.4.3 半導体明視野およびグレーフィールド欠陥検査装置の市場規模、日本VS世界（2021-2032）
1.5 半導体明視野およびグレーフィールド欠陥検査装置市場ダイナミックス
1.5.1 半導体明視野およびグレーフィールド欠陥検査装置の市場ドライバ
1.5.2 半導体明視野およびグレーフィールド欠陥検査装置市場の制約
1.5.3 半導体明視野およびグレーフィールド欠陥検査装置業界動向
1.5.4 半導体明視野およびグレーフィールド欠陥検査装置産業政策
2 世界主要会社市場シェアとランキング
2.1 会社別の世界半導体明視野およびグレーフィールド欠陥検査装置売上の市場シェア（2021-2026）
2.2 会社別の世界半導体明視野およびグレーフィールド欠陥検査装置販売量の市場シェア（2021-2026）
2.3 会社別の半導体明視野およびグレーフィールド欠陥検査装置の平均販売価格（ASP）（2021-2026）
2.4 グローバル半導体明視野およびグレーフィールド欠陥検査装置のトップ会社、マーケットポジション（ティア1、ティア2、ティア3）
2.5 グローバル半導体明視野およびグレーフィールド欠陥検査装置の市場集中度
2.6 グローバル半導体明視野およびグレーフィールド欠陥検査装置の合併と買収、拡張計画
2.7 主要会社の半導体明視野およびグレーフィールド欠陥検査装置製品タイプ
2.8 主要会社の本社と生産拠点
2.9 主要会社の生産能力の推移と今後の計画
……（詳細については、YH Researchまでお問い合わせください。）
会社概要
YH Research（YHリサーチ）は、グローバルビジネスをサポートする市場調査と情報提供の企業です。業界調査レポート、カスタムレポート、IPOアドバイザリーサービス、ビジネスプラン作成など、企業の成長と発展を支援するサービスを提供しています。 世界5カ国にオフィスを構え、100カ国以上の企業に正確で有益なデータを提供し、業界動向や競合分析、消費者行動分析などを通じて、企業が市場の変化に迅速に対応できるようサポートしています。
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YH Research株式会社
URL：https://www.yhresearch.co.jp
住所：東京都中央区勝どき五丁目12番4-1203号
TEL：050-5840-2692（日本）；0081-5058402692（グローバル）
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